Stéphane Casimirius
IdRefMots clés
FR
Nanotubes de carbone
Dépôt chimique catalytique en phase vapeur (CCVD)
Solution solide dyoxyde
Voie sol-gel
Méthane
Nanoparticules de cobalt
Couche mince métallique
Tamponnage
Lithographie molle
Lithographie électronique
Carbon nanotubes
CCVD (Catalytic Chemical Vapor Deposition)
Oxide solid solution
Sol-gel route
Methane
Cobalt nanoparticles
Metal thin layer
Microcontact-printing
Soft lithography
Electron beam lithography