3D-IC  Anisotropie  Anisotropie perpendiculaire  Barrière  Bombardement ionique  CD-AFM  CD-SEM  Caractérisation  Caractérisation de surface  Contact  Couche d’accroche  Cu  Diagnostic de plasma  Diélectriques  Double patterning  Dynamique moléculaire  Dépôt en phase vapeur  Effet tunnel  Espaceur  Gravure  Gravure de silicium  Gravure par plasma  Gravure plasma  Gravure profonde  Grille métallique  High K  IPVD  Industrie des polymeres, peintures, bois  Interaction plasma-Surface  Interactions plasma-surface  Interconnections 3D  Intégration  Ions  Jonctions tunnels magnétiques  Low-k  MOCVD  MOS  MOS complémentaires  Magnétorésistance tunnel  Matériaux  Matériaux hybrides  Micro-Nano-Filtration  Microelectronique  Microonde  Microélectronique  Microélectronnique  Modélisation tridimensionnelle  Mram  Métrologie  Nanoparticules  Nanostructuration  Ordinateurs -- Mémoires magnétiques  Oxyde de hafnium  Oxygene  Parois du réacteur  Plasma  Plasmas froids  Plasmas microondes  Plasmas pulsés  Polymere  Polymère  Polymères  Procédés  Pulsé  Resine  Rugosité  Rugosité de bord de ligne  Résine 193 nm  Sciences appliquees  Silicium -- Substrats  Silicium cristallisé  Silicium-chlore  Simulation  Simulations  Sioch poreux  Spectroscopie de masse  Spectroscopie de photoélectrons  Stochasticité  TSV  Technique  Technique des plasmas  Technologie  TiN  Transistor MOS  Transistors  Transistors en couches minces  Tungstène -- Alliages  Variabilité  Variables aléatoires  Xps  

Olivier Pierre Etienne Joubert a rédigé la thèse suivante :


Olivier Pierre Etienne Joubert a dirigé les 23 thèses suivantes :


Olivier Pierre Etienne Joubert a été rapporteur de la thèse suivante :


Olivier Pierre Etienne Joubert a été membre de jury des 3 thèses suivantes :